（特許所得済：　日本・米国・韓国・台湾・中国）

　　１：洗浄方式は弊社独特の　“　コ・ソルベント方式　”を基本としています。


　　２：洗浄工程では有機ＥＬの蒸着工程でメタルマスクに付着した有機材を完全に、そして素早く溶解・除去することの

　　 　 出来る炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）を選定しています。

　　　関東化学�且ﾐ製の洗浄溶剤（ＯＥＬ　Ｃｌｅａｎ　Ｓｅｒｉｅｓ）から選定しています。


　　３：洗浄後のメタルマスクは非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）でリンス乾燥します。

　　　住友スリーエム�且ﾐ製のＮｏｖｅｃ７１００
　　　　�活ｮ硝子社製のＡＥ−３０００を選定しています。

　　４：洗浄で使用します炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）は、内蔵されている真空蒸留装置で

溶解した有機材を蒸留分離し排出後、洗浄工程へ戻ります。


　　５：洗浄工程から搬出されたメタルマスクはリンス・乾燥工程へと送られます。

　　　　この工程ではメタルマスクに付着した炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）を溶解し、除去します。

　　　　同時にメタルマスクに付着した揮発性の高い非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）は瞬時に気化・乾燥します。


　　６：リンス工程が終了したメタルマスクは真空乾燥工程（低真空）へと送ります。

　　　　この工程ではメタルマスクに付着した極微量の非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）を気化させます。


　　７：全工程を通じては常温で洗浄を行っており、温度によるメタルマスクへのストレスは全くありません。


　　８：本洗浄装置で使用します炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）・非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）は全て蒸留装置・溶剤回収装置等を

　　　　経由し、再利用される為、ランニングコストが極端に低減されます。


　　９：常に炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）／非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）は蒸留再生されている為、洗浄は最良の状態を保ちながら

　　　　行います。

　１０：本洗浄装置から装置外へ排出される廃液は、蒸着工程でメタルマスクに付着した有機剤と少量の炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）

　　　　のみです。


　１１：本洗浄装置で使用します炭化水素系洗浄剤（ＨＣ）・非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）は使用中に消耗される極少量だけを追加投入

　　　　するだけで、溶剤の入れ替えによる装置のダウンタイムは全く無くなります。

　１２：本洗浄装置で使用します炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）の使用量は消防法の規定量に満たない為、

　設置場所に関する安全確保の必要がありません。
　　　(ただし、CO2自動消火装置は設置致しております。）

　　※日本国内を含む海外５カ国へ特許取得済みです。

　　既に国内外で５台の全自動洗浄装置を納入しております。（２０１１年１０月現在）

Ｒ＆Ｄ向け手動式洗浄装置及び蒸着装置部品用洗浄装置もご提案できます。

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